目前icp光谱仪主要分为多道型、单道扫描型以及全谱直读型，其中多道型和单道扫描型代表的是80年代的技术水平，它们以光电倍增管为检测器，icp光谱分析仪价格，技术上非常成熟，但也较落后，其中多道型已几乎退出历史舞台，单道扫描型以其合适的价格和灵活方便仍占有一定的市场份额。全谱直读型仪器代表了当今icp的新技术水准，它以cid或ccd(scd)半导体器件为检测器；中阶梯光栅结合棱镜(或平面光栅)构成二维、高分辩率、高能量色散系统，能同时获得各元素谱线的信息。此类型仪器经近十年的不断完善和发展，目前已成为icp光谱仪的主流。
1. 光路形式：czerny-turner型 单道扫描icp光谱仪
2. 光室恒温：(30±0.2)℃
3. 光栅类型：离子刻蚀全息平面光栅
4. 分辨率：不大于0.007nm
5. 刻线密度：3600g/mm
6. 高频发生器震荡频率：40.68mhz 功率稳定度：0.1%（长期25℃典型值）
7. 震荡类型：自激式
8. 进样方式：---泵进样
配有多种雾室（旋流雾室、双筒雾室和耐氢1氟酸雾室）
9. 雾1化器：同心雾化1器
10. 重复性：rsd ≤1.0%
11. 稳定性：rsd ≤2.0%（2小时）
12. 冷却气：10-20l/min
13. 辅助气：0-1.5 l/min
14. 载气：0.4-1l/min
15. 尺寸：1550mm×759mm×1340mm（长×宽×高）
16. 重量：240公斤
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